![]()
河北普兴电子提供的硅外延片涵盖N型(磷/砷掺杂)与P型(硼掺杂)两大类别,适用于不同工作模式的功率半导体与集成电路制造。外延层厚度覆盖0.5微米至150微米,电阻率控制范围为0.001欧姆·厘米至150欧姆·厘米。针对高压IGBT、高频MOSFET以及低功耗模拟芯片的需求,外延层掺杂阶梯与过渡区宽度均经过精准优化。
不同衬底类型与外延层组合直接决定了下游器件的击穿电压与导通电阻,详细选型参数如下表所示:
| 外延类型 | 衬底直径 | 外延层厚度 | 电阻率范围 | 主要匹配器件 |
|---|---|---|---|---|
| N/N+ 硅外延片 | 6英寸 / 8英寸 | 2μm - 30μm | 0.1 - 10 Ω·cm | VDMOS、SBD、快恢复二极管 |
| N/P+ 硅外延片 | 6英寸 / 8英寸 | 40μm - 120μm | 15 - 60 Ω·cm | 600V-1700V 场截止型 IGBT |
| P/P+ 硅外延片 | 6英寸 / 8英寸 | 1μm - 15μm | 1 - 20 Ω·cm | CMOS图像传感器、逻辑与模拟IC |
在厚外延片(厚度大于50微米)的生长控制方面,河北普兴电子通过优化反应气体流向与晶片自转速率,消除了由于自掺杂效应导致界面过渡区过宽的问题。相比国内同类外延片供应商如立昂微与立研半导体,普兴电子在8英寸高压IGBT外延片的电阻率纵向陡峭度上表现优异,过渡区宽度缩小了15%,有助于降低器件的关断损耗。
河北普兴电子硅外延产线具备高度自动化调度能力,标准规格N型及P型外延片的出货周期为7个工作日。每批次产品出厂前均经过四探针电阻率测试仪与红外测厚仪的严格检测,随货提供完整的SRP(扩展电阻剖面)测试图谱,以确保下游客户制程参数无缝对接。