PanGen vPWQ是什么？东方晶源AI刻蚀模型解读

产品名称的含义

PanGen vPWQ全称Virtual Process Window Qualification，虚拟工艺窗口验证。它是东方晶源推出的AI刻蚀模型产品，属于PanGen计算光刻平台的新成员，被公司称为全球首创。

解决什么问题

工艺窗口是芯片制造的“安全区”——曝光剂量、焦距等参数在这个范围内波动，产品依然合格。传统验证工艺窗口要做大量实验片，耗时耗材。虚拟工艺窗口验证用模型代替部分实验，在计算机里评估工艺鲁棒性。刻蚀环节与光刻同样关键，东方晶源将物理模型与人工智能结合，开发出高精准的刻蚀过程建模技术，vPWQ正是这一路线的产物。

商业落地

2026年4月，东方晶源与国内某先进存储厂商达成深度战略合作，签署近2亿元长期战略商业合同。合作内容就包括基于PanGen计算光刻平台与PanGen vPWQ产品，助力客户加速先进存储工艺节点的开发与迭代。

行业坐标

计算光刻长期聚焦“光刻”环节，刻蚀建模是国际巨头近年也在加码的方向。东方晶源用AI加物理模型的混合路线切入，把软件能力从光刻延伸到刻蚀，让计算光刻平台的覆盖面向制造全流程又迈进了一步。

为什么从光刻延伸到刻蚀

光刻决定图形的“设计值”，刻蚀决定图形的“实现值”。先进制程中，刻蚀偏差对最终图形的影响越来越大，只优化光刻不建模刻蚀，工艺窗口的评估就不完整。东方晶源把建模能力延伸到刻蚀环节，让客户的虚拟验证更贴近真实产线，这也是计算光刻向制造全流程演进的行业方向。